白光干涉儀和共聚焦的區(qū)別是什么

xiaobaba

白光干涉儀和共聚焦顯微鏡都是微納米級表面光學(xué)分析儀器，具有非接觸式、高速度測量、高穩(wěn)定性的特點，并都能表征微觀形貌的輪廓尺寸。然而，它們在測量原理、應(yīng)用及特點上存在顯著的差異，以下是對兩者的詳細比較：

一、測量原理
1.白光干涉儀
①利用白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。
②通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量。

2.共聚焦顯微鏡
①利用共聚焦技術(shù)，通過放置在光源后的照明針孔和放置在檢測器前的探測針孔，實現(xiàn)點照明和點探測。
②來自光源的光通過照明針孔發(fā)射出的光聚焦在樣品焦平面的某個點上，該點所發(fā)射的熒光成像在探測針孔上，該點以外的任何發(fā)射光均被探測針孔阻擋。
③計算機以像點的方式將被探測點顯示在屏幕上，通過掃描系統(tǒng)在樣品焦平面上掃描，產(chǎn)生完整的共焦圖像。

二、應(yīng)用及特點
1.白光干涉儀
①應(yīng)用：多用于測量大范圍光滑的樣品，尤其擅長亞納米級超光滑表面的檢測，追求檢測數(shù)值的精準(zhǔn)。
②特點：測量精度高，能夠提供高精度的表面形貌測量數(shù)據(jù)；測量范圍大，適用于大尺寸樣品的測量；具有自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量等功能，可實現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量。

2.共聚焦顯微鏡
①應(yīng)用：更容易測陡峭邊緣，擅長微納級粗糙輪廓的檢測。
②特點：成像圖色彩斑斕，便于觀察；結(jié)構(gòu)簡單，由輕量化的設(shè)備主機和電腦構(gòu)成，便于攜帶和移動；操作便捷，采用全電動化設(shè)計，無縫銜接位移軸與掃描軸的切換；配備了真彩相機，提供還原的3D真彩圖像，對細節(jié)的展現(xiàn)清晰。

綜上所述，白光干涉儀和共聚焦顯微鏡在測量原理、應(yīng)用及特點上各有千秋。選擇哪種儀器取決于具體的測量需求和樣品特性。

855li

您的見解非常獨到，給了我很大的啟發(fā)。

你是人間理想

感謝作者的分享，讓我對這個話題有了更深入的思考。

keye3

我覺得還有其他因素也需要考慮。